MgF2 substrát
Popis
MgF2 se používá jako čočka, hranol a okno pro vlnové délky od 110nm do 7,5μm.Je to nejvhodnější materiál jako okno pro ArF Excimer Laser, z důvodu jeho dobrého přenosu při 193nm.Je také účinný jako optická polarizace v ultrafialové oblasti.
Vlastnosti
| Hustota (g/cm).3） | 3.18 |
| Bod tání (℃) | 1255 |
| Tepelná vodivost | 0,3 Wm-1K-1 při 300K |
| Teplotní roztažnost | 13,7 x 10-6 /℃ paralelní osa c 8,9 x 10-6 /℃ kolmá osa c |
| Tvrdost Knoop | 415 se 100g indentorem (kg/mm2) |
| Specifická tepelná kapacita | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektrická konstanta | 1,87 při 1MHz paralelní ose c 1,45 při 1MHz kolmé c-ose |
| Youngs Modulus (E) | 138,5 GPa |
| Modul smyku (G) | 54,66 GPa |
| Hromadný modul (K) | 101,32 GPa |
| Elastický koeficient | C11=164;C12=53;C44 = 33,7 C13=63;C66=96 |
| Zdánlivý elastický limit | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Poissonův poměr | 0,276 |
Definice substrátu MgF2
Substrát MgF2 označuje substrát vyrobený z krystalického materiálu fluoridu hořečnatého (MgF2).MgF2 je anorganická sloučenina složená z prvků hořčíku (Mg) a fluoru (F).
Substráty MgF2 mají několik pozoruhodných vlastností, díky kterým jsou oblíbené v různých aplikacích, zejména v oblasti optiky a nanášení tenkých vrstev:
1. Vysoká průhlednost: MgF2 má vynikající průhlednost v ultrafialové (UV), viditelné a infračervené (IR) oblasti elektromagnetického spektra.Má široký rozsah propustnosti od ultrafialového při přibližně 115 nm po infračervené při přibližně 7500 nm.
2. Nízký index lomu: MgF2 má relativně nízký index lomu, což z něj dělá ideální materiál pro AR povlaky a optiku, protože minimalizuje nežádoucí odrazy a zlepšuje propustnost světla.
3. Nízká absorpce: MgF2 vykazuje nízkou absorpci v ultrafialové a viditelné oblasti spektra.Tato vlastnost je užitečná v aplikacích vyžadujících vysokou optickou čistotu, jako jsou čočky, hranoly a okna pro ultrafialové nebo viditelné paprsky.
4. Chemická stabilita: MgF2 je chemicky stabilní, odolný vůči širokému spektru chemikálií a zachovává si své optické a fyzikální vlastnosti v širokém rozsahu podmínek prostředí.
5. Tepelná stabilita: MgF2 má vysoký bod tání a snese vysoké pracovní teploty bez výrazné degradace.
Substráty MgF2 se běžně používají v optických povlakech, procesech nanášení tenkých filmů a optických oknech nebo čočkách v různých zařízeních a systémech.Mohou také sloužit jako nárazníkové vrstvy nebo templáty pro růst jiných tenkých vrstev, jako jsou polovodičové materiály nebo kovové povlaky.
Tyto substráty se typicky vyrábějí pomocí technik, jako je nanášení par nebo metody fyzikálního transportu par, kde je materiál MgF2 nanesen na vhodný substrátový materiál nebo pěstován jako monokrystal.V závislosti na požadavcích aplikace mohou být substráty ve formě destiček, desek nebo vlastních tvarů.
